Hældningssensor til inklinometer NBA

Registrering af tyngdefeltets hældning ved hjælp af MEMS-sensorer (Micro-Electro-Mechanical-System) med efterfølgende digitalisering og linearisering via en controller. Dataoutputtet sker via CANopen-grænsefladen eller som et analogt signal. Vippesensoren har et robust aluminiumshus (valgfrit rustfrit stål). Der er åbninger til mekanisk justering (op til ca. ± 7,5°). I forbindelse med CANopen kan der vælges et stik eller en han/hun-kombination til tilslutningen. Støbningstiltag i huset vil føre til opnåelse af beskyttelsesklasse IP 69K, f.eks. til brug under vand. MEMS-sensorer er integrerede kredsløb, der er fremstillet ved hjælp af mikromekanisk siliciumteknologi. Disse mikromekaniske strukturer bruges til at danne dobbelte kapaciteter. Hvis disse strukturer afbøjes under acceleration, f.eks. tyngdeacceleration (g), hvilket resulterer i kapacitetsændringer, som registreres og behandles yderligere ved hjælp af måleteknikker. På grund af den forskelskapacitetsafhængighed, der er beskrevet her, følger udgangsspændingen funktionen U ∝ g * sin α. I dette tilfælde er vinklen a sensorens hældningsvinkel målt i forhold til g-vektoren. Disse sensorer måler præcist, har en lang levetid og er meget robuste. Måleakserne fungerer uafhængigt af hinanden.